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[2022년 11월 9일 수요일 Version]
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Nano/metric Semiconductor Equipment development/Optical inspection equipment

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  의뢰 업체 :  (주) 나래기술 (Naraetech)
  작업 시기:  2008.6 ~ 2008. 7 (2달)(실 코딩 기간 3주, 업무파악2주, 연계작업 2주)
  계약 방식:  전체 외주 (전체 SW , Application 디자인, 하드웨어 장비 연동)
  개발 언어:  C++ (MFC 4.2 / MFC 7.1 / MFC 9.0 ) , C# (Framework3.5)
  개발 툴: Microsoft Visual Studio 6.0,  Microsoft Visual Studio .NET 2005, Microsoft Visual Studio .NET 2008
  Runtime : Framework3.5, Matlab Runtime Library, ActiveX Regist, libnanoebr Library , MFC7.1 RuntimeLibrary
  다국어 : 
  개략 내용 :  EBR 검사기 (광학장비)
              반도체 생산의 Wafer Photo Mask에 대한 검증을 수행하는 전공정 광학 장비의 SW개발입니다.
              반도체 공정 아이디어를 장비로 만들었으며, 하이닉스, 삼성, 대만등에 납품될 예정입니다.


1. 메인 테스터 화면
: 들어온 Lot 에 대해 테스트를 진행하는 메인 프로그램입니다.
  테스트 조건과 이미지를 받아 EBR을 수행하여 Pass / Fail을 가리고 분석합니다.
Splash 화면
- 프로그램이 로딩할 양이 많아 시간이 조금 걸리므로 Splash 가 그동안 화면에 표시되고 로딩 상황을 알려줍니다.


Splash
none description Loading 화면
- 로딩 상태에 대해 화면이 표시됩니다. 로딩이 완료될 때까지 메뉴는 눌러지지 않습니다.


Module Loading Status
none description 테스트 메인 화면
- 로딩이 완료되면 서버 기능이 시작되며, 공정 진행 상태가 됩니다.


EIS Test IDLE Ready

 
none description 테스트 진행 화면
- 포토 마스킹후 이미지를 광학 카메라로 찍은후 이미지 프로세스를 하여 실제 거리를 측정하고 마스킹이 잘 되었는지
  Pass / Fail을 판별합니다.


EBR Test 진행 화면

 
none description 각 Wafer 각도별 이미지 상세 조회
- 원본 이미지, Edge Image등의 이미지를 전체 화면으로 조회하고, 실제 거리를 재볼수도 있습니다.


분석 알고리즘 화면

 
none description 결과 분석 화면
- 결과 데이터를 통해 웨이퍼 Edge 부분 상태를 분석합니다.


결과 분석 화면

 
none description 결과 검색 화면
- 기존 결과를 상세하게 분석하여, 테스트 당시 상태에 대한 화면을 불러오고, 조건을 바꾸어 다시 테스트하는 ReTest를
  수행할 수 있습니다.


결과 검색 화면

결과 상세 조회 화면

 
none description

 

2. 라이센스 프로그램
해당 프로그램 복사 방지를 위한 라이센스 툴을 개발하여 제공하였습니다. 강력한 256Bit 암호화를 사용하였습니다.
none description License 요청 프로그램
- 라이센스를 Equip manufactor에게 요청합니다.


라이센스 발급 화면

 
none description License 관리자 프로그램
- 라이센스를 만들고 고객에게 제공합니다.


초기 라이센스 툴

 
none description

 

3. 테스트 프로그램
복잡하고 큰 프로그램은 각 단위별 기능별 테스트를 할 수 테스트 프로그램이 필요합니다.
none description Test Library를 실험하는 테스트 프로그램 (VC6.0)
- 실제 작업의 근간이 되는 Library를 ActiveX 거치지 않고 직접 테스트 합니다.


개발 테스트 화면

 
none description 공정상에서 네트워크 서버 역할을 테스트 하는 통신 테스트 프로그램
- Winsock / Ascii형 통신을 테스트하는 프로그램 입니다.


개발 테스트 화면 (MFC)

 
none description

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